中型、大型部品の中には、シリンダーブロックのような円筒形状を有する部品が多数あります。この円筒形状の内面を検査したい場合、それを3次元で1μｍの高精度に検査する方法は今までありませんでした。XTIAセンサ は直進型の同軸レーザーのため、レーザーを直進的に入射させ、その先端にミラーを配置することにて、レーザーが反射して円筒形状の内面を測定することを可能とします。このミラーを回転しながら引き上げることで、円筒形状内面を1μｍの精度にて測定することが可能となります。 これにより、内面にできる異物やバリ、キズな どを定量的に検査することを可能とします。