円筒内面検査

回転ミラー反射によるボア内面の1µm分解能による3次元プロファイル作成が可能になります。

• ボア
• シリンダーブロック　✓ボア内面検査
• ブレーキバルブ　　　✓内径寸法検査
• ソレノイドバルブ

中型、大型部品においては図に示すシリンダブロックと呼ばれる部品のように円筒形状を有する部品が多数あります。この円筒形状の内面を検査したい場合、それを3次元で1µｍの高精度に検査する方法は今までありませんでした。XTIAセンサーは直進型の同軸レーザーのため、レーザーの軸上にミラーを配置すると計測の方向を変えることができます。このミラーを穴内に設置し回転させると円筒形状の内面を測定することが可能となります。XTIAセンサーによる計測を内面検査に用いることで円筒形状内面を1µｍの精度にて3次元形状を測定することが可能となります。これにより、内面にできる異物やバリ、キズなどを定量的に検査することを可能とします。

1µmの精度の3次元形状

円筒内面を1µmの精度にて3次元形状を計測可能なため、欠陥検出だけでなく、構造の寸法計測も同時に可能とします。